设备主要特点

◆ 串级控温系统，恒温区高精度

◆ 具有高抗干扰能力

◆ 具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置

★ 支持SECS/GEM通讯

主要技术指标

◆ 可配工艺管数量:1~5管/台

◆ 工作温度范围:200~1000℃

◆ 恒温区长度:300~11000mm

◆ 单点温度稳定性:±1℃/24h

◆ 最大可控升温速度:15℃/min;

◆ 最大降温速度:3℃/min