极大规模集成电路制造专用设备，工艺时间短，生产效率高，

具有出色的工艺性能，达到国际先进水平。

产品优势

◆  晶片（片/批次)150片；

◆  晶片高速搬送系统，实现高吞吐量；

◆  精密的热场控制，气体控制系统；

◆  工艺周期短，生产效率高；

应用领域

◆  20nm-350nm集成电路制造

外形尺寸及重量

◆  外形尺寸（参考）：

     433 0mm*90 0mm*3065 mm（长*宽*高）

◆  重量： 2500Kg