立式扩散炉 | 扩散炉 | 闭管软着陆扩散系统 | 微控扩散炉 | LPCVD | LED专业设备 | 链(带)式烧结炉 | 真空炉 | 芯片处理专用设备
极大规模集成电路制造专用设备,工艺时间短,生产效率高,
具有出色的工艺性能,达到国际先进水平。
产品优势
◆ 晶片(片/批次)150片;
◆ 晶片高速搬送系统,实现高吞吐量;
◆ 精密的热场控制,气体控制系统;
◆ 工艺周期短,生产效率高;
应用领域
◆ 20nm-350nm集成电路制造
外形尺寸及重量
◆ 外形尺寸(参考):
433 0mm*90 0mm*3065 mm(长*宽*高)
◆ 重量: 2500Kg
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