闭管软着陆扩散系统采用闭管扩散的方式。碳化硅浆把石英舟放入石英管后再退岀石英管,保证整个工艺过程完全不受外界环境干扰,工艺性能优异。

控制系统特点

◆ 软着陆装置采用伺服控制，性能平稳可靠、定位准确、承重量大。

◆ 管内压力采用闭环控制,压强稳定。

◆ 工艺废气冷却回收，保证工艺管道清洁。 

◆ 高精度温度控制技术，系统可自动拉温区。 

★ 支持SECS/GEM通讯

主要技术指标

◆ 工作温度:600-1286℃

◆ 恒温区长度:300~1500mm 

◆ 温区精度:±0.5℃

◆ 最大可控升温速率:15℃/min

◆ 最大可控降温速率:5℃/min

◆ 装片数量:400片管(特大产能)

晶圆工艺指标

◆ 片内均匀性:＜2%

◆ 片间均匀性: ＜2%

◆ 批间均匀性: ＜2%

◆ 2管、3管、4管、5管分别可选;自动装载机械手可选。

★ 设备产能、性能、工艺指标优于同类进口设备。